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[핫클립] 배관을 막는 유해가스를 처리하는 진공 플라스마 / YTN 사이언스 & 핫클립 업로드 동영상 100 본문

🌱 Ador 사색. 도서.

[핫클립] 배관을 막는 유해가스를 처리하는 진공 플라스마 / YTN 사이언스 & 핫클립 업로드 동영상 100

Ador38 2022. 6. 12. 08:17

조회수 3,074회

 
구독자 58.3만명

 
 
 
 
반도체 공정에서 나오는 유해가스가 진공펌프나 배관을 막는다. 그래서 막힌 배관 때문에 공정이 멈추는 경우도 잦고, 청소를 위해 배관을 열 때 화재가 생기는 일도 있었다고 한다. 
 
 
 
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